Luchtfiltratie is een techniek die deeltjes uit de lucht haalt en de lucht zo zuivert. In cleanrooms maken we gebruik van twee soorten filters: HEPA- en ULPA-filters.
HEPA staat voor ‘High-Efficiency Particulate Air’ en is een filter die tussen 85% en 99,995% van alle stofdeeltjes met een grootte van 0,3 µm of meer tegenhoudt, afhankelijk van de HEPA-klasse. Dat maakt HEPA-filters geschikt voor cleanrooms tot ISO-klasse 5.
ULPA staat voor ‘Ultra-Low Penetration Air’ en is geschikt voor de meest strenge en veeleisende omstandigheden. Een ULPA-filter is namelijk nóg nauwkeuriger dan een HEPA-filter en houdt tot 99,99995% van alle deeltjes met een grootte van 0,12 µm of meer tegen. ULPA-filters zijn daarmee geschikt voor cleanrooms tot ISO-klasse 3.